原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明提供等离子体处理装置，即使与等离子体处理装置的谐振器耦合的高频电源的频率的可变范围小也能够进行阻抗匹配。所公开的等离子体处理装置包括腔室、基片支承部、第一电极、第二电极、导入部和谐振器。基片支承部设置于腔室的处理空间内。第一电极设置于处理空间的上方。第二电极设置于处理空间的上方且第一电极的下方。第二电极在第一电极与第二电极之间提供等离子体生成空间，提供将在等离子体生成空间中生成的活性种引导到处理空间内的多个贯通孔。导入部能够向等离子体生成空间导入电磁波。谐振器包括用于向导入部传播电磁波的波
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117690772A
(43)申请公布日2024.03.12
(21)申请号202311104475.0
(22)申请日2023.08.30
(30)优先权数据
2022-143542202
文档评论（0）