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2024-03-13 发布于四川
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一种光伏半导体生产用石英舟托.pdf

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本发明公开了一种光伏半导体生产用石英舟托，涉及半导体生产技术领域，包括夹持组件，夹持组件包括摆动调节架，摆动调节架上转动安装有花键轴支架，花键轴支架上固定安装有花键轴和夹持电缸，花键轴上通过花键滑动安装有两个对称设置的夹持摆臂，每个夹持摆臂上均固定安装有用于平衡的配重块，摆动调节架转动安装在支撑摆动架上。本发明可以对晶圆移动过程中的晃动进行实时的补偿，从而减少晶圆的晃动幅度，进而降低晶圆的碰撞概率；可以快速的对晶圆进行降温，从而确保晶圆的质量和稳定性；设置分离通道和隔离通道的配合，可以将空气中的

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117690835A

(43)申请公布日2024.03.12

(21)申请号202311413965.9

(22)申请日2023.10.30

(71)申请人浙江浩鑫半导体材料有限公司

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