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2024-03-13 发布于四川
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一种延长蚀刻装置寿命的处理方法.pdf

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本发明提供了一种延长蚀刻装置寿命的处理方法，所述处理方法包括：采用滚花轮由内到外对所述蚀刻装置的内壁表面进行滚花处理，形成花纹结构。所述处理方法在蚀刻装置的内壁表面利用滚花轮由内到外碾压成型的方式，并结合特定范围的滚花轮下压量、蚀刻装置的转速和进给量，使其表面形成具有一定深度和四棱台型的花纹，提高了蚀刻部件与溅射蚀刻胶的结合强度，延长其粘滞时间，避免其轻易掉落影响产品质量，保证生产安全和产品质量，同时也降低了蚀刻腔室部件的更换清洗频率，提高生产效率，节约生产成本。

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117680526A

(43)申请公布日2024.03.12

(21)申请号202311702312.2

(22)申请日2023.12.12

(71)申请人宁波江丰电子材料股份有限公司

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