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MEMS器件.pdfVIP

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  • 2024-03-13 发布于四川
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MEMS器件.pdf

    本发明的目的在于提供一种具备不会使缓冲块大型化且提高耐冲击性的缓冲块的MEMS器件。具备可动部的MEMS器件包含：衬底；凹部，设置于衬底；可动部，在凹部内中空地受支撑；及缓冲块，在凹部内中空地受支撑，与可动部接触，由此限制可动部的移动；且缓冲块包含：突起部，与可动部接触；及冲击吸收部，设置于突起部与衬底之间，通过弹性变形来吸收施加于突起部的冲击力的至少一部分。另外，MEMS器件包含：第1缓冲块，与可动部接触弹性变形，由此吸收从可动部施加的冲击力的至少一部分；及第2缓冲块，与可动部接触，由此限制可

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117682475A

    (43)申请公布日2024.03.12

    (21)申请号202310932435.9

    (22)申请日2023.07.27

    (30)优先权数据

    2022-143952202

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