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多晶硅的生产国内外大多承受改进西门子生产工艺，该过程属于化
学冶金生产过程，该工艺为三氯氢硅氢复原工艺，即SiHCI
3
在纯H
2
的复原
条件下，在10500C的硅芯发热体外表上沉积、生产多晶硅。
由于整个生产过程的合成及复原均承受氢气，包括中间产品三氯氢硅、四氯化硅、二氯二氢硅、氢气、氯化氢等均属于易燃易爆、有毒有害介质，且局部介质多为腐蚀性介质，对于装置的防火防爆防腐均有严格要求；由于工艺管道的介质特性及产品纯度要求，对于管道的焊接质量及内部清洁、吹扫试压均有较高要求；精馏提纯、换热器等压力容器类设备多，对设备的进场验收检验及安装、内部处理也有较高要求；复原炉电气设
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