2023年片式半导体器件项目规划设计方案.docx

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片式半导体器件项目规划设计方案

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片式半导体器件项目规划设计方案

目录

TOC\h\z15455序言 3

32289一、片式半导体器件项目土建工程 3

6693(一)、建筑工程设计原则 3

20332(二)、土建工程设计年限及安全等级 4

19469(三)、建筑工程设计总体要求 5

6008(四)、土建工程建设指标 6

27965二、工艺说明 6

4110(一)、技术管理特点 6

5802(二)、片式半导体器件项目工艺技术设计方案 7

25432(三)、设备选型方案 9

4796三、片式半导体器件项目绩效评估

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