原创力文档片式半导体器件项目规划设计方案
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片式半导体器件项目规划设计方案
目录
TOC\h\z15455序言 3
32289一、片式半导体器件项目土建工程 3
6693(一)、建筑工程设计原则 3
20332(二)、土建工程设计年限及安全等级 4
19469(三)、建筑工程设计总体要求 5
6008(四)、土建工程建设指标 6
27965二、工艺说明 6
4110(一)、技术管理特点 6
5802(二)、片式半导体器件项目工艺技术设计方案 7
25432(三)、设备选型方案 9
4796三、片式半导体器件项目绩效评估
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