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一种异质结太阳能电池及其制备方法.pdfVIP

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  • 2024-03-16 发布于四川
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一种异质结太阳能电池及其制备方法.pdf

    本发明提供一种异质结太阳能电池及其制备方法，制备方法包括以下步骤：(1)对硅衬底的上下表面均进行氦气等离子体处理；(2)在处理后的硅衬底的上下表面分别沉积第一、第二本征非晶硅层；(3)对第一本征非晶硅层的上表面和第二本征非晶硅层的下表面均进行氦气等离子体处理；(4)在处理后的第一本征非晶硅层的上表面和第二本征非晶硅层的下表面分别沉积第一、第二掺杂非晶硅层；(5)对第一掺杂非晶硅层的上表面和第二掺杂非晶硅层的下表面均进行氦气等离子体处理；(6)在处理后的第一掺杂非晶硅层的上表面和第二掺杂非晶硅层的

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117712234A

    (43)申请公布日2024.03.15

    (21)申请号202211083869.8

    (22)申请日2022.09.06

    (71)申请人嘉兴阿特斯技术研究院有限公司

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