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本发明涉及微电子技术领域，特别涉及一种声波谐振器及通信器件。声波谐振器包括支撑衬底和谐振腔结构，谐振腔结构位于支撑衬底上，谐振腔结构包括阻抗调控区和叉指电极；通过调控阻抗调控区的结构参数和性能参数，结合质量加载效应调整声波分量在声波谐振器的厚度方向的分布，减少目标高声速模式在厚度方向的泄露，从而能够有效约束目标声波模式的能量，激发并利用高声速的声波模式获得高频谐振响应；调控叉指电极覆盖的区域与叉指电极未覆盖区域的阻抗匹配，调控声波声速，实现声波模式的融合，抑制伪模杂散响应，并提高机电耦合系数。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117713739A
(43)申请公布日2024.03.15
(21)申请号202311794811.9
(22)申请日2023.12.25
(71)申请人上海馨欧集成微电
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