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增强型EUV光致抗蚀剂及其使用方法.pdfVIP

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  • 2024-03-16 发布于四川
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增强型EUV光致抗蚀剂及其使用方法.pdf

    本专利申请公开了一种物质组合物，其包含溶剂；和具有选自(I)的化学结构的酯，其中X和Y相同或不同，其中X、Y和R1至R4为具有1至24个碳原子的支链或非支链的、经取代或未经取代的烷基链，其具有取代到链中的0至16个杂原子；为经取代或未经取代的苯基基团、杂芳族基团，或者稠合芳族基团或稠合杂芳族基团或两者的组合。

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117716292A

    (43)申请公布日2024.03.15

    (21)申请号202280052657.5爱德华·杰克逊约翰·罗斯

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