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本发明公开了一种基于PGC‑SSH‑Atan算法的FSI测距方法,主要解决现有技术中噪声和光频扫描非线性导致测距精度低的问题。包括:1)通过FSI的激光器产生调谐光源并输出;2)光纤分束器将光源分为两路,一路进入法布里‑珀罗标准具得到FP信号,另一路进入迈克尔逊干涉光路;3)进入光路部分经分光棱镜再次分为两路,分别指向测量和参考反射镜,经反射后光束在分光棱镜处重新汇聚并干涉,得到干涉信号;4)根据FP信号计算调谐范围;5)利用PGC‑SSH‑Atan算法提取干涉信号相位并得到相位差;6)根据相位
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117706566A
(43)申请公布日2024.03.15
(21)申请号202311664508.7
(22)申请日2023.12.06
(71)申请人西安电子科技大学
地址7100
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