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本发明涉及超精密位移监测技术领域，尤其涉及一种纳米级单自由度位移监测装置；纳米级单自由度位移监测装置包括基板、监测系统、气流隔绝罩、主动隔振平台以及激光器；监测系统安装在基板上；气流隔绝罩用于隔绝外界气流，气流隔绝罩将基板和监测系统整体罩起；主动隔振平台用于抑制外界微振动；基板、监测系统以及气流隔绝罩设置在主动隔振平台上；激光器用于为监测系统提供测量光线；本发明的监测装置分别对影响激光干涉测量精度的环境扰动因素：温度变化、气流、微振动等，加以抑制与补偿，能够更好的满足空间光学遥感器超精密运动机构
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117704961A
(43)申请公布日2024.03.15
(21)申请号202311688593.0G01B11/02(2006.01)
(22)申请日2023.12.
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