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本发明涉及一种共聚焦显微镜和图像畸变校正方法,方法包括:制备二维MEMS扫描振镜畸变测试装置;测量待测试的每个二维MEMS扫描振镜的畸变特征图像;装配调试出共聚焦显微镜,计算共聚焦显微镜中中继透镜和物镜组成光具组的光学放大倍数M;于光学放大倍数M,通过计算得出共聚焦显微镜的成像畸变图像;根据成像畸变图像,生成图像畸变校正模型;利用图像畸变校正模型对实际的畸变图像进行图像畸变校正:通过本发明可以大大降低仪器设备的售后支持成本。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117706750A
(43)申请公布日2024.03.15
(21)申请号202311727018.7
(22)申请日2023.12.15
(71)申请人宁波法里奥光学科技发展有限公司
地
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