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一种塔式微型压电气体压缩机.pdfVIP

一种塔式微型压电气体压缩机.pdf

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    本发明属于微型气体压缩机技术领域，具体涉及一种塔式微型压电气体压缩机，整体由套筒、冷却套、上盖、上板、中间板、下板、下盖、压电振子、单向阀、密封圈组成；第一驱动组块包括四个第一压电振子，第二驱动组块包括三个第二压电振子，第三驱动组块包括两个第三压电振子，第四驱动组块包括一个第四压电振子。所述压电振子中心开设有中心孔，单向阀安装在压电振子中心孔处，单向阀由环形支座、阀片、悬臂组成。特色及优势：能同时兼备大流量和大压力输出；气体反向泄露少，工作频率高。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN109915347A

    (43)申请公布日

    2019.06.21

    (21)申请号20191

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