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本发明公开了一种SiC籽晶粘结加热固定装置，包括石墨盘、石墨底托、压坨和压块，石墨底托放置于所述石墨盘上，所述石墨底托远离所述石墨盘的面上设置有用于放置石墨纸的放置腔；压坨放置于所述放置腔内，所述压坨的侧面与所述放置腔的腔壁对应设置；压块放置于所述压坨远离所述放置腔的面上；所述压坨与所述压块接触的面上设置有用于使二者对正的限位结构，所述放置腔的侧壁上设置有用于排气的排气孔，所述排气孔的第一端与所述放置腔的底部连通，第二端与所述石墨底托的外侧面连通。本发明的SiC籽晶粘结加热固定装置，保证了对石墨
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117702258A
(43)申请公布日2024.03.15
(21)申请号202311822834.6
(22)申请日2023.12.26
(71)申请人江苏天科合达半导体有限公司
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