基于凹面镜的数字全息物体形貌测量装置及方法.pdfVIP

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2024-03-16 发布于四川
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基于凹面镜的数字全息物体形貌测量装置及方法.pdf

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本发明公开了一种基于凹面镜的数字全息物体形貌测量装置及方法，属于光电检测技术领域。本发明包括步骤：激光器发出的激光经过扩束准直系统后变为平行光，通过分束镜将分为两束平行光波；其中一束平行光波被待测样品反射携带物信息变为物光波；过另一束平行光波被凹面镜反射变为球面参考光波；物光波与参考光波在探测器的靶面发生干涉后，通过探测器记录无透镜傅里叶变换离轴数字全息图；经过计算机处理无透镜傅里叶变换离轴数字全息图获得被测样品的相位信息，通过相位与光程的关系式获得被测样品的形貌高度。本发明系统结构简单，测量速

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117705001A

(43)申请公布日2024.03.15

(21)申请号202410163728.X

(22)申请日2024.02.05

(71)申请人山西科技学院

地址048000

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