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第52卷第4期锻压装备与制造技术2017年8月
Vo1．52No．4CHINAMETALFORMINGEQUIPMENT＆MANUFACTURlNGTECHNOLOGYAug．2017
热式MEMS流量传感器的设计及测试
胡梦飞，杨露露，刘亚伟，谷永先，胡国俊：，吕品
(1．合肥工业大学工业与装备技术学院，安徽合肥230009；
2．中国电子科技集团公司第三十八研究所微电子封装研究中心，安徽合肥230000)
摘要：根据已有的热式MEMS气体微流量传感器芯片的各部分热敏电阻热串扰现象严重，造成很大的测量误差，改进设计了一种
MEMS热式流量传感器，将加热电阻和上下游测温电阻采用悬臂梁隔离结构，并相互隔离，有效的避免了热膜流量传感器各部分
热敏电阻间相互热串扰现象。基于改进的MEMS热式流量传感器，设计了流量传感器的测试系统，包括恒温差电路、桥式测量电
路及放大、滤波电路，所采集的流量信号经过滤波放大后输入AD模块进行模数转换，最后经过单片机处理，利用单片机与计算
机串口通信功能，在不同流速下打印出不同的电压值；通过Matlab对所测出的数据进行拟合，完成对传感器性能的检测。测量结
果表明：在一定的流量范围内，该流量传感器具有测量精度高、响应速率快、输出信号平滑等特点，能够广泛应用于工业、医疗领
域的流量测量。
关键词：热串扰；微机电系统；悬臂梁；恒温差；模数转换；串口通信
中图分类号：TP212．1文献标识码：A
DoI：10．16316／j．issn．1672—0121．2017．04．010文章编号：1672—0121(2017)04—0032—05
热式MEMS气体微流量传感器具有反应速度大、结构复杂、功耗高等缺陷刚。近年来随着微机电
快、测量精度高、集成度高和功耗低等优点[I．21，其依系统(MEMS)技术的发展，基于MEMS技术所设计
据的基本原理是托马斯理论“气体放出的热量或吸出的热式气体微流量传感器具有灵敏度高、测量精
收的热量与该气体的质量流量成正比”。区别于其他度好、易批量加工等优点，从而得到广泛应用。
类型的流量传感器，热式气体微流量传感器能够直当前设计的MEMS热式流量传感器的芯片大多
接测量出气体的质量流量。早期的热式流量传感器采用薄膜结构，即利用磁控溅射技术在基底表面制
经历过铂丝电阻、发热棒模型等，但是普遍存在体积作一层薄膜电阻，该结构中热电阻和上下游测温电
阻同处在一个悬空薄膜上5[1，从而造成加热电阻所产
生的热量既能通过气体传导到上下游测温电阻，也
收稿日期：2017—03—23；修订日期：2017—05—16
作者简介：胡梦飞(1993一)，男，硕士在读，主攻MEMS传感器设计研能通过热膜来进行热量传递，形成电阻器的热串扰
究。E—mail：2294490630@qq．coln现象，影响测量结果的准确性。
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Designandanalysisoffoundationforautomaticproductionline
WANGJunling，ZHANJunyong，WULianhong，ZHONGTaisheng，LUOSuping
(DepartmentofProject，YangliGroupCo．，Ltd．，Yangzhou225127，JiangsuChina)
Abstr
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