电子气体 惰性稀有气体 征求意见稿.pdfVIP

GB/TXXXX—XXXX

电子气体惰性稀有气体

1范围

本文件规定了电子用惰性稀有气体的技术要求、采样、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、

贮存及安全信息的要求。

本文件适用于以工业惰性稀有气体为原料提纯制得的电子用惰性稀有气体。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本

文件

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GB/T43306气体分析采样导则

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3术语和定义

3.1

惰性稀有气体noblegas

包括氪、氖、氙。

4技术要求

2

GB/TXXXX—XXXX

惰性稀有气体的技术要求应符合表1～表3的规定。

表1氪技术要求

项目指标

氪纯度（Kr）(摩尔分数)/10-2≥99.9995≥99.9999

氢(H)含量（摩尔分数）/l02-6＜0.1＜0.1

（氧+氩）（O+Ar）含量(摩尔分数)/102-6＜0.5＜0.1

氮(N)含量（摩尔分数）/l02-6＜1.0＜0.2

一氧化碳（CO）含量（摩尔分数）/l0-6＜0.1＜0.05

二氧化碳（CO）含量（摩尔分数）/l02-6＜0.1＜0.05

甲烷（CH）含量（摩尔分数）/l04-6＜0.1＜0.05

非甲烷总烃（以甲烷计）含量（摩尔分数）/l0-6＜0.05＜0.05

氙(Xe)含量（摩尔分数）/l0-6＜0.5＜0.1

四氟化碳（CF）含量（摩尔分数）/l04-6＜0.05