7.4.4激光干涉仪的安装.pptxVIP

激光干涉仪的安装主讲人：周庆项目七机械故障维修与调整

目录TABLEOFCONTENTS激光干涉仪的安装01激光光路对正02机床程序编制及参数设定03软件设置04执行测量程序05分析测量数据06输入补偿值之后，再次测量07

问题导入

问题导入激光干涉仪采用激光干涉法测量，可快速、高精度测量，可作为校准仪、坐标测量机等定位设备的精度和线性指标的常用标准仪器，掌握一些激光干涉仪的使用技巧，会事半功倍。如何完成激光干涉仪的安装呢?

激光干涉仪的安装

激光干涉仪的安装机床预热：机床各轴在匀速状态下运转10分钟左右。1.三脚架的固定；2.激光头的安装与固定；3.补偿器的安装与固定4.激光头和补偿器通过数据线与计算机的连接5.激光头电源线的连接；6.按下激光头电源按钮，预热5~6分钟，直到指示灯变为红色表示预热完成；7.从开始菜单找到雷尼绍软件中的线性测长，单击打开测量软件。

激光光路对正

激光光路对正掌握干涉镜和反射镜的安装方法（根据测量轴的不同，安装方法有所不同，注意观察箭头所指方向，激光从箭头尾部射入）；将机床各轴原点复归；微调方式下，调整干涉镜和反射镜的位置，使两者靠近，目测能够尽量上下左右对齐；移动三脚架使激光头的光源穿过干涉镜，此时能够看到2个光点；微调方式下，调整机床侧使2个光点重合；转动激光头，观察激光头上方的LED灯点亮情况（5个全亮最好）微调方式下，将测量轴远离干涉镜，直到LED灯只剩一个时停止移动，此时调整激光头的各个微调旋钮等，直到将光路再次调整到5个LED灯全亮；微调方式下，将测量轴再次远离干涉镜，重复第7）步，直到测量终点处，此时，反向摇回来，观察LED灯，保证到起点处均保持5个LED灯全亮，若不能满足，则继续调整至全亮；

机床程序编制及参数设定

机床程序编制及参数设定制测量运行程序（根据测量轴和测量行程修改相应程序）；坐标系中，G54中将对应轴清0；模式打到“程序运行”，倍率打至0%；

软件设置

软件设置采集来自环境空气温度值、物体表面温度值；物体膨胀效应补偿：不带光栅尺的为11.7/带光栅尺的为8.0；

软件设置点击软件最左边第一个工具，进入设置对话框；采集数据设定第一项：设置第一定位点，最终定位点，间距值，完成后进入下一项；

软件设置采集数据设定第二项：定位方式选择“线性定位方式”，测量次数一般设为2，选择方向为“双向”，其他不变，点击进入下一项；

软件设置采集数据设定第三项，填写“机器名称”、“轴”等信息；

软件设置采集数据设定第四项：越程量大小改为：0.00mm其他保持不变，点击完成设定。

执行测量程序

执行测量程序打开倍率旋钮开关，将程序中第一步的1mm余量走完后，再次关闭倍率旋钮；软件清0（注意正负号），打开倍率旋钮，即可自动执行程序采集测量数据，绘制测量曲线；等待程序执行完毕后，按“回车”键结束，机床侧按“RESET”键结束程序执行。

分析测量数据

分析测量数据1）进入数据分析窗口；

分析测量数据2）点击“分析数据”选择一个标准，点击进行曲线分析机床的各项指标；

分析测量数据3）若检测下来机床的精度需要提高，则可按照当前检测结果进行补偿，点击“误差补偿图表”；

分析测量数据4）弹出误差补偿表格窗口：图表类型选择“均值补偿”、补偿分辨率设为1、正负符号转换选择“补偿值”、参考点位置为0.0000mm、补偿起点和补偿终点依情况而定、补偿间隔为20.0000mm,点击“绘制误差补偿图表”。

输入补偿值之后，再次测量

输入补偿值之后，再次测量重新测量之后，观察测量曲线变化情况，与未补偿前的测量数据进行对比分析，观察补偿后的机床精度是否有所改善。

课后小结在学习激光干涉仪的安装的过程中，了解激光干涉仪的安装基本流程，重点掌握激光干涉仪的安装具体方法步骤。

思考题作为一名数控机床维修调试人员，我们思考一下激光干涉仪的安装注意事项呢?