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本申请涉及一种机械臂组件及晶圆检测台。机械臂组件包括：机械臂、多个吸盘以及支撑件，机械臂具有连通的多个通孔及真空通道；吸盘与通孔一一对应，吸盘包括相连的夹持部及吸嘴，夹持部穿设于通孔，吸嘴设置于机械臂的一侧，夹持部具有第一外周侧壁，夹持部具有贯穿第一外周侧壁的第一通道及贯穿夹持部面向吸嘴的表面的穿设孔，吸嘴、穿设孔与第一通道连通；支撑件卡设于夹持部的穿设孔；支撑件具有第二外周侧壁，支撑件具有贯穿第二外周侧壁的第二通道及贯穿支撑件面向吸嘴的表面的第三通道，吸嘴、第三通道、第二通道、第一通道及真空通
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117723946A
(43)申请公布日2024.03.19
(21)申请号202410179217.7B25J9/00(2006.01)
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