1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

具有悬置隔膜的压电MEMS设备及其制造过程.pdfVIP

  • 0
  • 0
  • 约1.9万字
  • 约 27页
  • 2024-03-20 发布于四川
  • 举报

具有悬置隔膜的压电MEMS设备及其制造过程.pdf

    本申请的各实施例涉及具有悬置隔膜的压电MEMS设备及其制造过程。一种MEMS设备，包括：主体，具有第一表面和第二表面；隔膜腔体，在主体内并且从主体的第二表面延伸；可变形部分，在主体内并且在第一表面和隔膜腔体之间；和压电致动器，在主体在第一表面上延伸并且在可变形部分之上。MEMS设备的特征在于其包括凹槽结构，该凹槽结构在主体内延伸并且为可变形部分界定止动器部分。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN109721022A

    (43)申请公布日

    2019.05.07

    (21)申请号20181

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >