原创力文档- 6
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- 2024-03-20 发布于四川
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本申请公开了一种激光诱发充电控制装置、方法及带电粒子束检测系统。该激光诱发充电控制装置包括：激光发射单元，其包括至少两组激光发射组件，用于产生不同波段的激光光束，其中每组激光发射组件包括激光发射器和离轴抛物面镜，激光发射器发出的激光光束经离轴抛物面镜进行准直并反射；激光耦合单元，用于接收每组激光发射组件中离轴抛物面镜所反射的激光光束，并将其耦合至同一光路；以及激光调控单元，用于接收光路上的耦合激光光束，并对耦合激光光束依次进行偏转、整形和聚焦反射，使其照射至待测半导体的表面。通过本申请实施例的方
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117728281A
(43)申请公布日2024.03.19
(21)申请号202311737297.5
(22)申请日2023.12.15
(71)申请人惠然科技有限公司
地址1001
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