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本发明提供一种光磁电半导体器件一体化智能制造系统与方法，其系统包括制造数据获取模块，用于获取制造需求数据和光磁电半导体器件的基础数据；一体化制造流程树模型构建模块，用于基于光磁电半导体器件的全流程制造工序，构建全流程制造模型和一体化制造流程树模型；制造实施模块，用于根据制造需求数据和基础数据，利用制造流程树模型，实施光磁电半导体器件一体化制造。本发明根据制造需求数据和光磁电半导体器件的基础数据，结合光磁电半导体器件的全流程制造工序，构建全流程制造模型和一体化制造流程树模型，用于实施光磁电半导体器
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117726295A
(43)申请公布日2024.03.19
(21)申请号202311765804.6(51)Int.Cl.
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