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本实用新型公开了一种低温液态硅烷储罐,包括储罐主体。主动冷却系统、及应急冷却系统。本实用新型通过改变低温液态硅烷储罐的主动冷却系统中各部件的布局位置,使得操作人员可以在地面对储罐进行操作,降低了工作强度,提高了安全性,便于发生意外时工作人员迅速逃生;增加了应急冷却系统,在停电或主动冷却系统故障时启动,可防止储罐内液态硅烷持续升温气化,有效避免了储罐内温度升高压强过大导致罐体破裂的情况的出现。
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220623666U
(45)授权公告日2024.03.19
(21)申请号202322281119.8
(22)申请日2023.08.24
(73)专利权人艾佩科(上海)气体有限公司
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