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液晶面板及半导体生产车间恒温恒湿洁净空调设计综述

前言

液晶面板的加工和半导体芯片的加工，在生产工艺上有很多相似的地方，在液晶面板加工车间和半导体芯片加工车间的设计上也有很多相似之处。本文将从暖通空调专业的角度，对相关厂房设计的问题进行一般性的综述。

在液晶面板的加工和半导体芯片加工过程中，根据产品制备的工艺流程、洁净度的保持、温湿度的保持、已经各种化学品的供应等，已经形成了此类车间的一般性通用的设计方案，方案的核心就是保证工艺生产设备所需要的生产环境，从而保证产品的良率。暖通专业在此类厂房的设计中是非常重要的专业，其系统的设计对产品的生产至关重要。

液晶面板和半导体芯片的加工生产环境要求是恒温恒湿洁净环境，单从温度、湿度以及洁净度的要求上考核，其和其他类别的洁净室的要求没有太大的差别，但是由于此类厂房的工艺生产流程一般都比较多，各个工艺过程中需要不断的重复进行，因此需要生产车间的面积足够大，并且还要保证各个工艺生产过程中中间产品的互相流动。为了达到这个目的，现在的液晶面板加工和半导体芯片加工车间的建筑布局和一般的恒温恒湿洁净室的设计上有一些不同，已经形成了一个比较固定的模式。这篇文章将针对液晶面板加工和半导体芯片加工车间的设计进行总结，尽量指出其和一般洁净室设计的不同之处。

一个典型的液晶面板和半导体芯片加工车间中，洁净室的暖通空调设计包含了如下几个部分：工艺排气系统的设计、防排