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电子厂房净化空调方式选择

引言

当前的电子厂房干净室干净等级大局部在1000级〔ISO6级〕—10000级〔ISO7级〕之间，其相当的换气次数平均在25—60次/H,要求的干净室环境参数比较严格，大部份要求为室内温度22±2℃，相对湿度55±5%，干净室内工艺设备发热量大，部份工艺设备排解热量所需的排风量也很大。由于要求高，发热量大，导致电子厂房干净室空调系统的能耗是很惊人的，所以在设计之初对于干净室空调系统的方式选择就需要认真考虑。

目前大多数已建成的电子厂房中，干净室的空调系统一般都会使用常规净化空调方式-

--风机组+混风机组+高效过滤器〔HEPA〕，而另一种净化空调方