原创力文档- 1、本文档共2页，可阅读全部内容。
- 2、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
纳米复合薄膜nc-TiCa-C：H的成分、结构和性能研究的中期报告
中期报告内容：
一、研究背景和目的
随着科技的不断进步，纳米材料得到了广泛的应用。纳米复合薄膜作为一种新型的表面处理技术，在材料学、机械、电子等领域得到了广泛的应用。本次研究旨在制备一种新型的纳米复合薄膜nc-TiCa-C：H，并初步探究其成分、结构和性能。
二、研究方法
本次研究使用磁控溅射的方法制备nc-TiCa-C：H复合薄膜。通过扫描电子显微镜（SEM）、透射电子显微镜（TEM）等显微分析技术对薄膜的成分、结构和形貌进行分析。
三、研究结果
（1）XRD分析表明，所制备的nc-TiCa-C：H薄膜的结晶性较弱，主要为非晶态结构。
（2）TEM分析表明，在所制备的薄膜中存在着许多纳米晶体，它们的平均晶粒尺寸约为5～10nm。
（3）SEM表明，nc-TiCa-C：H复合薄膜的表面平整，无明显裂纹和凸起结构。同时，通过元素映射分析表明，薄膜中存在着Ti、Ca、C等元素，并且它们分布均匀。
（4）摩擦系数测试表明，在干摩擦和湿摩擦条件下，nc-TiCa-C：H复合薄膜均具有较低的摩擦系数，并且它们的耐磨损性能较好。
四、研究结论
本次研究制备了一种新型的纳米复合薄膜nc-TiCa-C：H，并初步探究了它的成分、结构和性能。研究结果表明，所制备的薄膜为非晶态结构，具有良好的表面平整性和耐磨损性能。这一研究成果为制备更具功能性和应用价值的新型材料提供了一定的参考。
文档评论（0）