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本发明揭示了一种电容式Z轴加速度计，核心检测部分由结构层、锚点层和走线层组成，其中结构层包括可动质量块，可动质量外框，弹性耦合梁和扭摆弹性梁，走线层包含结构层下方的两组以上检测电容极板和信号引出线路，每一组检测电容极板设为单独的差分电容结构；可动质量块通过扭摆弹性梁耦合于锚点，并通过弹性耦合梁与相邻可动质量块和可动质量外框互连，形成整体悬浮于检测电容极板之上可动的结构层，任一可动质量块与扭摆弹性梁对称耦合，且在可动质量外框提供的偏心质量下绕扭摆弹性梁扭转。应用该Z轴加速度计，有利于减小整个芯片的
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117741180A
(43)申请公布日2024.03.22
(21)申请号202311587679.4
(22)申请日2023.11.27
(71)申请人苏州感测通信息科技有限公司
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