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可旋转双面靶材真空镀膜装置.pdfVIP

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  • 2024-03-23 发布于四川
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可旋转双面靶材真空镀膜装置.pdf

    本发明公开了一种可旋转双面靶材真空镀膜装置，包括旋转筒、靶门框、旋转组件以及中频电源；旋转筒可旋转地连接至靶门框的内部；旋转组件连接至靶门框；旋转组件与旋转筒传动连接；旋转筒的顶端和底端均设置有溅射阴极组件；各溅射阴极组件上均贴合设置有靶材；中频电源设置于靶门框的外部；各溅射阴极组件分别与中频电源电连接；靶门框的底端开设有与旋转筒相正对的喷镀出口；旋转组件可带动旋转筒轴向旋转并使位于旋转筒顶端的靶材或位于旋转筒底端的靶材与喷镀出口相正对。某一端的靶材被消耗完后，可立即切换为另一端的靶材继续镀膜；

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117737666A

    (43)申请公布日2024.03.22

    (21)申请号202311630095.0

    (22)申请日2023.11.30

    (71)申请人广东谛思纳为新材料科技有限公司

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