微电子器件材料与工艺培训.pptx

微电子器件材料与工艺培训汇报人：PPT可修改2024-02-02

CATALOGUE目录微电子器件概述微电子器件材料微电子器件工艺技术微电子器件性能表征与测试微电子器件制造中的关键问题与解决方案微电子器件市场趋势与发展前景

01微电子器件概述

定义微电子器件是指利用微电子技术和微细加工技术制造的，具有微小尺寸和特定功能的电子器件。分类微电子器件包括集成电路、分立器件、传感器和执行器等。其中，集成电路是微电子器件的核心，按照集成度和功能不同可分为小规模集成电路、中规模集成电路、大规模集成电路和超大规模集成电路。微电子器件定义与分类

20世纪50年代，晶体管的出现奠定了微电子器件的基础。初期阶段发