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2024-03-24 发布于四川
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本实用新型属于光伏技术领域，公开了硅片移载装置及硅片加工设备。该硅片移载装置包括移动机构和移载机构，移载机构包括连接支架、支撑支架和吸盘组件，连接支架连接于移动机构，移动机构能够带动连接支架沿第一方向往复运动，支撑支架设置于连接支架，支撑支架安装有至少一组吸盘组件，吸盘组件包括至少两个吸盘，所述吸盘组件的每个所述吸盘用于单独吸附一个等分硅片，或者，所述吸盘组件的全部所述吸盘用于共同吸附整片硅片。这种硅片移载装置能够兼容整片硅片和等分硅片的移载，具有较强的使用灵活性，且能够在移载等分硅片时，避免出

(19)国家知识产权局

(12)实用新型专利

(10)授权公告号CN220651982U

(45)授权公告日2024.03.22

(21)申请号202322339617.3

(22)申请日2023.08.30

(73)专利权人拉普拉斯（无锡）半导体科技有限

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