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- 2024-03-24 发布于四川
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本发明涉及ECR离子源金属炉测试装置，包括测试腔，其一侧开设有金属炉进口，另一侧开设有移动测温组件接口，第三侧开设有用于安装放气阀的放气口；真空硅管和涡轮分子泵，均设置在测试腔上并与测试腔的内腔相连通；热辐射屏蔽罩，水平设置在测试腔内部并形成金属炉的容置空间；移动测温组件经移动测温组件接口伸入测试腔内，用于对金属炉内部的轴向温度进行连续测量。本发明可以对ECR离子源金属炉进行离线测试，通过离线测试得出金属炉的各种运行参数并对其性能进行全面评估，同时根据测试结果便于对金属炉的结构和性能进行进一步的
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN109932200A
(43)申请公布日
2019.06.25
(21)申请号20191
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