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本发明公开了一种集成式微温控器件及其制备方法。本发明包括底板、盖板和加热线圈。底板上开有形成制冷液流道的沟槽，制冷液流道包括入口、出口汇集流道和双曲线排列的多条分流流道。分流流道由多个特斯拉阀结构的微流道首尾连接构成，两端分别接入口、出口汇集流道，入口、出口汇集流道开口于底板两侧。盖板将沟槽顶面封闭，表面设置有加热线圈。首先在底板上按照设计刻蚀出沟槽，然后对底板和盖板进行表面活化，将底板和盖板键合，最后在盖板上溅射金属薄膜，刻出加热线圈。本发明减小了腔体结构或外界因素带来的紊流影响，提升了制冷效
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN115167572A
(43)申请公布日2022.10.11
(21)申请号202210778736.6
(22)申请日2022.06.30
(71)申请人浙江工业大学
地址310014
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