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真空电子器件及零件项目可行性评估方案

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真空电子器件及零件项目可行性评估方案

目录

TOC\h\z12552前言 3

19859一、工艺方案的选择 3

17372(一)、基本要求 3

26931(二)、典型工艺技术介绍 4

23755(三)、真空电子器件及零件项目组成 6

8862(四)、工艺技术方案的选择 7

19714(五)、工艺技术方案的设计 9

303二、真空电子器件及零件项目建设单位基本情况 10

5581(一)、真空电子器件及零件项目建设单位基本情况 10

8948(二)、真空电子器件及零件项目主管单位基

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