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- 2024-03-24 发布于四川
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本发明提供静电卡盘、基板处理装置以及基板保持方法，在具有翘曲的基板被支承台保持的情况下提高基板与静电卡盘的密合性。一个实施方式所涉及的静电卡盘具备用于产生对基板进行吸附的静电力的多个电极以及用于载置基板的表面，多个电极的各个电极配置于沿径向和周向划分出的多个区域的各个区域。一个实施方式所涉及的基板处理装置具备：静电卡盘，其具备多个电极和用于载置基板的表面；以及控制装置，其控制对多个电极的各个电极施加直流电压的定时，其中，多个电极的各个电极通过被施加直流电压来产生用于对基板进行吸附的静电力，多个电
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN110379757A
(43)申请公布日
2019.10.25
(21)申请号20191
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