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基片载置装置和基片载置方法.pdfVIP

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  • 2024-03-24 发布于四川
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基片载置装置和基片载置方法.pdf

    本发明提供一种在载置台载置基片时，以水平的姿态载置基片的技术。载置台在表面形成有各自支承基片的多个突起，在该载置台载置基片时，由吸引孔对与载置与上述载置台的基片的、位于上述突起的上方的区域不同的区域进行了吸引的状态下，将基片吸附在载置台，之后减小吸引孔的吸引。因此，能够在消除了基片的翘曲的状态下将基片载置在载置台，并且能够抑制因较强地吸引晶片W的下表面而产生的基片的形变，能够将基片以水平的姿态载置在载置台。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN110391168A

    (43)申请公布日

    2019.10.29

    (21)申请号20191

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