非铁电巨介电压敏材料CCTO.docx

高介电常数氧化物介电材料是以电子器件的小型化和高速化为特征的微电子技术升级换代的关键材料,在目前器件加工工艺接近极限,不能再简洁缩小尺寸的状况下,小型化最终取决于提高电容器中绝缘介质材料静态介电常数ε值。高介电常数材料是指介电常数大于二氧化硅介电常数(ε=319)的材料,目前主要有介电常数在1000以上的钛酸钡系和钛酸铅系铁电材料。由于铁电材料在居里温度发生铁电2顺电相变,使其介电常数的温度稳定性变差,迫切需要开发型、宽温度稳定型高介电材料。近年来间续觉察了一些高介电常数的非铁电材料,

NiO CuO ACuTiO

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