半导体行业超纯水工艺抛光混床用离子交 换树脂产品认证技术要求.pdfVIP

ICS07.060

CCSJ77

ZGM

中国膜工业协会团体标准

T/ZGMXXXX—XXXX

半导体行业超纯水工艺抛光混床用离子交

换树脂产品认证技术要求

Technicalspecificationsofionexchangeresininmixedbedforpolishprocessof

ultrapurewaterinsemiconductorsindustry

（征求意见稿）

（本草案完成时间：）

XXXX-XX-XX发布XXXX-XX-XX实施

中国膜工业协会发布

T/ZGMXXXX—XXXX

半导体行业超纯水工艺抛光混床用离子交换树脂产品认证技术要求

1范围

本文件规定了半导体行业超纯水制备用的抛光混床用离子交换树脂产品认证的技术要求、试验方法。

本文件适用于半导体行业超纯水制备用的抛光混床用离子交换树脂。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。

GB/T1.3标准化工作导则产品标准编写规定

GB/T1631离子交换树脂产品分类命名及型号

GB/T5475离子交换树脂取样方法

GB/T5476离子交换树脂预处理方法

GB/T5757离子交换树脂含水量测定方法

GB/T5758离子交换树脂粒度分布测定方法离子交换树脂粒度、有效粒径和均一系数的测定

GB/T5759氢氧型阴离子交换树脂含水量测定方法

GB/T5760氢氧型阴离子交换树脂交换容量测定方法

GB/T8144阳离子交换树脂交换容量测定方法

GB/T8330离子交换树脂湿真密度测定方法

GB/T8331离子交换树脂湿视密度测定方法

GB/T12598离子交换树脂强度测定方法渗磨法离子交换树脂渗磨圆球率、磨后圆球率的测定

GB/T11446.1电子级水

GB/T11446.4电子级水电阻率的测试方法

GB/T11446.8电子级水中总有机碳的测试方法

3术语和定义

GB/T11446.1—2013界定的以及下列术语和定义适用于本文件。

3.1

半导体行业超纯水ultrapurewaterforsemiconductorindustry

制造半导体产品工艺过程中所用的超纯水。

3.2

电阻率resistivity

3

在规定温度下，1cm（正立方体）水溶液两相对面之间测得的电阻值。通常用符号ρ表示，单位为

欧姆厘米（Ω·cm），纯水的理论电阻率为18.3MΩ·cm（25℃）。

[来源：GB/T11446.1—2013,3.2]

3.3

总有机碳totalorganiccarbon;TOC

水中以各种有机物形式存在的碳的总量。包括易被一般强氧化剂氧化的有机物和需用特殊方法氧化

的有机物。

[来源：GB/T11446.1—2013,3.6]

4要求

4

T/ZGMXXXX—XXXX

4.