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一种用于硬脆材料的超快激光加工装置及其使用方法，涉及一种超快激光加工装置及其使用方法。本发明是要解决目前硬脆材料加工精度低、存在崩边的加工缺陷，加工稳定性较差的技术问题。本发明中超快激光配合道威棱镜模块与三维振镜能够显著提升加工效率以及质量，并抑制材料加工锥度较大现象的发生。本发明利用超快激光进行硬脆材料的加工，既保留了超快激光加工方法灵活性的优点，同时还能保证零件的质量，进一步拓宽了超快激光在硬脆材料零部件制造领域的应用范围。本发明中采用的激光光源为超快激光，可达到大范围硬脆材料的表面清洗和抛
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117754117A
(43)申请公布日2024.03.26
(21)申请号202410151115.4
(22)申请日2024.02.02
(71)申请人哈尔滨工业大学
地址15000
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