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干预仪原理与使用

第一章：为何使用干预仪做检测

1-1干预度量学

第一章为什么要使用干预仪检测首先我们要先了解，什么是干预度量学？所谓干预度量学是

指利用光干预的效应来量测特定物理量的方法,也就是说藉由观察干预条纹的变化,来量测出

待测物的特征

1-2何谓干预仪

干预仪是什么?一般来说,只要是利用光干预的原理来量测的仪器便可以称为干预仪,但是干预

仪的种类众多且多变化,因此本课程中将针对最为外界常用之种类作介绍

1-3干预仪之优缺点

干预仪的优点及缺点

第一高精度

以光学组件来说,因为组件的微小变化均会严重改变原有的光学质量，因此必须要有非常精确的

量测仪器,干预仪具有精度非常高的优点,最高可达1/100的波长甚至到1/1000的波长,波长

是指干预仪中使用光源的波长值.举例来说：一般干预仪的波长为632.8(nm),而632.8的百分之

一约为6个(nm),目前的奈米科技是在这个尺度,甚至有些更好的干预仪可以到0.6个(nm),从此

可以看出干预仪的精度有多好了

第二章：非球面玻璃模造的原理

第二.非接触式量测

另一种量测用的轮廓仪是使用接触式的量测方式,即使目前已可以微调接触的力量,但对于外

表较脆弱的被量测物是否真的完全不会造成损害那么仍无法确定.而当用干预仪量测时,是把光

照射到被量测的物体上,所以干预仪上的探针也就是光,并不会对物体外表照成任何伤害

第三使用探针来量测时无法一次量测所有的面积,而可能必需分很多扫瞄线去量测,相对来说,

干预仪的量测速度就非常快了,可能几秒钟就量完了,而不需要等待几个小时的时间.

第四那么是干预仪的缺点,一个操作员在会使用干预仪却不太清楚干预仪的使用限制、条件及

原理的时候,可能会量测到不是他所要的东西,而且,因为干预仪是用光线量测,在调整上也会

花费多的时间,可能量测结果只要花几秒钟,但事前的调整却要花费几十分钟甚至数个小时.

第二章：干预仪工作原理

2-1光干预

2-1.1为何光有干预现象

干预仪工作原理

我们是用干预仪量测,所以先要了解什么是光干预?为什么光有干预现象?光的干预现象有二个

原因,第一光像是波一样,具有波的特性,我们在丢一块小石子在池塘中,就会看到很多涟漪向

外扩散传播,这就是波,而光就可以用波来描述.第二波的迭加原理,我们之所以能够看到干预

条纹的明暗变化,就是因为迭加原理所造成的,这是二个造成光干预现象的根本条件除此之外,

2-1-3干预条纹之定量描述

对建设性干预而言,2个波的差异需满足公式:opticalpath(n*d)=mλopticalpath是光程差,光程

差是指2个波的差异,2道光从A点跑到B点时,距离为d及d,因此有一道波跑了nd,另一

道波跑了nd那么2道光的差异为n(d-d),也可以变成nd2.如果nd2为波长λ的整数倍时,就

会有明暗的条纹变化,也就是建设性干预而相反的nd2刚好为二分之一波长的技术倍时便产

生破坏性干预条纹，公式为:opticalpath(n*d)=mλ/2

2-1-4双光束干预之数学描述

双光束干预之数学描述：

假设2道光做干预，这两到光的光强度分别为I1,I2，那么当这两道光产生干预时便符合上述的

公式.

其中:I1+I2为干预条纹的DC项,根号(I1I2)为干预条纹的振幅大小，最后Cos(Delta)为相位项,其中

Delta扁是前面所提到的光程差.

所以当光程差变化时，可以知道干预条纹也会随着变化

2-2如何判断干预条纹

2-2-1干预条纹种类

那么我们如何判断干预条纹?

因为我们不是随时随地都可以方便的使用干预仪并藉由计算机来分析,所以我们必须用肉眼来

判断,这也是最快最方便的方式.

干预条纹的种类有2种:第一个是等厚度干预条纹,在等厚度干预条纹中明暗的条纹会呈现等间

隔的情形,而且每个相邻的条纹代表相同的厚度间隔.

假设横线为标准面,斜线为一个斜率固定的待测面,当光线打过来的时候会产生折射现象,我们

在第一个射入点做一条与标准面平行的虚线,在待测面会有光a反射回去,在标准面时也会有

光b反射回去从图可以看出光线a及b所通过的路径是不同的，而当光程差恰为波长的整数倍

时