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本发明公开了一种高纯高分散纳米氮化硅粉的制备方法。该方法将二氧化硅粉末、脂肪酸和湿磨剂在内的原料经球磨后与碳源混合进行水热反应，得前驱体粉末；前驱体粉末依次经还原氮化和除碳，即得；所述二氧化硅粉末、脂肪酸和湿磨剂的质量比为：100:0.1～1:10～50；所述碳源以碳质量计为二氧化硅粉末质量的50～80％。该方法通过脂肪酸改性二氧化硅，不仅有效避免了颗粒团聚，还改变了二氧化硅的界面张力，在水热过程，包裹在二氧化硅表面的脂肪酸层作为碳化活性位点，与碳源在二氧化硅表面均匀碳化，有效解决了二氧化硅与碳
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117756068A
(43)申请公布日2024.03.26
(21)申请号202311786067.8
(22)申请日2023.12.25
(71)申请人浙江能鹏半导体材料有限责任公司
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