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本实用新型属于晶体生长设备技术领域，具体涉及一种长晶炉检漏系统。供气干路第一端与长晶炉的腔体接通，供气干路第二端与特气排接通，检测干路第一端与特气排接通，检测干路第二端与检漏仪接通，检测干路上设有第一截止阀，供气干路上设有第二截止阀，机械泵的进气口通过抽空干路与长晶炉的腔体接通。本实用新型检测速度快，效率高，无污染，准确率高，工作过程灵活。
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220670832U
(45)授权公告日2024.03.26
(21)申请号202322383402.1
(22)申请日2023.09.01
(73)专利权人山东天岳先进科技股份有限公司
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