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本发明公开了一种光敏二极管生产中改善氧化积碳的工艺方法，包括：在携氯氧化之前增加前氧化工序，向氢氧合成室中通入氧气，将氢氧合成室内的氮气冲扫干净，使氢氧合成室为富氧状态。本发明通过在进行携氯氧化之前进行前氧化工序，确保DCE气体通入时，可以与过量的氧气进行反应，有效提高DCE反应的完全性，避免残留的DCE气体受高温分解出碳元素附着在石英管内壁而挥发影响产品性能，使产品杂质中杂质含量减少，性能稳定性提高，同时良率也得以提升。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117766628A
(43)申请公布日2024.03.26
(21)申请号202311790788.6
(22)申请日2023.12.25
(71)申请人青岛旭芯互联科技研发有限公司
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