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本发明公布了大尺寸石英坩埚自动加工设备，涉及大尺寸石英坩埚加工技术领域，包括外套筒，外套筒上设置开口槽，外套筒内部设置多个排气孔，外套筒底部设置底座，外套筒内部设置外模筒，外模筒顶部的圆环轨道与多个支撑板侧部的滑动导块匹配，支撑板下方的石墨电极圆周环绕设置于内模筒与外模筒之间构成的空腔内，外套筒顶部设置上盖板，上盖板顶部圆周设置多个盖环，盖环下方设置多个用于向内模筒与外模筒之间的空腔内喷出惰性保护气体的上排气管。本发明提供大尺寸石英坩埚自动加工设备，采用多个石墨电极均匀对内模筒和外模筒之间的石英
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117756383A
(43)申请公布日2024.03.26
(21)申请号202311802829.9
(22)申请日2023.12.26
(71)申请人廊坊赫尔劳斯太阳能光伏有限公司
地
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