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一种微元件的检测装置及其检测方法.pdfVIP

一种微元件的检测装置及其检测方法.pdf

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    本申请公开了一种微元件的检测装置及其检测方法。所述检测装置包括基板、多个固定部及多个探针，其中，多个固定部凸设于所述基板一侧；多个探针与所述多个固定部连接；且在所述探针与所述微元件接触过程中，所述探针与所述基板之间的平均距离减小，所述探针与所述微元件之间的接触面积增大。所述探针与所述固定部互成锐角，所述探针与所述微元件接触过程中，所述夹角变小，所述探针与所述微元件之间的接触面积增大。通过探针与微元件之间接触面积的增大，缓解压强，避免在微元件的电极上造成划伤和划痕，进而可以保护芯片免遭探针破坏。

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117761498A

    (43)申请公布日2024.03.26

    (21)申请号202211131880.7

    (22)申请日2022.09.16

    (71)申请人成都辰显光电有限公司

    地址61

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