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本发明涉及一种频率及幅值可调的压电压力传感器动态标定装置及方法,属于压电压力传感器动态标定技术领域。该装置通过升降台支撑架沿Z轴方向的粗调协同微米级升降台的精调实现探头与被测压电传感器之间压紧程度调节,从而达到加载压力幅值的精确调节目标;步进电机驱动曲柄滑块机构上的探头向待测压电压力传感器样件施加压力,由于步进电机转速的可调性,并结合曲柄滑块机构沿Z轴方向的往复运动特征,无需变换步进电机的旋转方向,便可实现对被测传感器样件的反复施压并具有频率可调性。本发明所公布的标定装置适用于对正压力频率及幅值
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117760623A
(43)申请公布日2024.03.26
(21)申请号202311676749.3
(22)申请日2023.12.08
(71)申请人西北工业大学
地址710072
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