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2024-03-27 发布于四川
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发光二极管及其制作方法.pdf

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本公开提供了一种发光二极管及其制作方法，属于发光器件领域。该方法包括：在衬底表面制作外延层，所述外延层包括依次层叠在所述衬底的第一半导体层、有源层和第二半导体层，所述第二半导体层远离所述衬底的一面为掺杂Mg的AlxGa(1‑x)N层，其中0≤x＜1；在所述第二半导体层表面形成银镜结构，所述银镜结构包括依次层叠在所述掺杂Mg的AlxGa(1‑x)N层的第一Ti层、Ag层和第一Ni层；在高温环境下，氧气与氮气氛围中，对所述银镜结构进行退火。该方法可以提升银镜结构的欧姆接触效果，从而提升发光二极管长时

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117766659A

(43)申请公布日2024.03.26

(21)申请号202311678527.5

(22)申请日2023.12.08

(71)申请人华灿光电（苏州）有限公司

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