等离子体及其应用介绍镀膜最新完整版本.pptVIP

目录（一）等离子体简介（二）真空镀膜方法和设备（三）等离子体镀膜技术的发展一.什么是等离子体物质第四态等离子体产生带电粒子在电磁场中的运动等离子体的准中性和表征参数平均自由程和碰撞频率等离子体鞘层等离子体的整体特性1.物质第四态在自然界，物质有四态：固态、液态、气态和等离子态。人们熟知：物质的固态、液态和气态对等离子态则鲜为人知。人类对等离子体的认识开始于19世纪30年代的气体放电研究。在20世纪初建立了等离子体概念：即由大量具有相互作用的带电粒子组成的宏观时空尺度（大于德拜屏蔽半径）的体系。3.带电粒子在电磁场中的运动6.等离子体鞘层7.等离子体的整体特性二.等离子体学科到70年代末，等离子体已发展成为一门独立的分支学科，其研究对象为：天体等离子体近地电离层空间等离子体人工产生的实验室等离子体。三.实验室等离子体按其中带电粒子温度的相对高低，以及应用目标,可将实验室等离子体分为:高温等离子体：温度T在数十eV(几十万度)以上几乎完全电离,氢弹和可控核聚变；低温等离子体：温度T在数十eV(几十万度)以下部分电离50%,各种工业应用.四.高温等离子体能源分为三大类:化石能源自然能源核能木材水力核裂变煤炭风力核聚变石油太阳能核能的现状与发展:重核裂变轻核聚变储量有限储量充足污染环境污染小不安全安全高温等离子体研究的主要目标聚变电站示意图五.低温等离子体低温等离子体的研究和应用目标极为广泛：利用低温等离子体条件下所具有的特殊的物理和化学性质形成了一些新技术，在材料、信息、能源、化工、冶金、机械、环保、军工、和航天等领域表现出了突出的优势。人们通常又把低温等离子体分成为：热等离子体（平衡态等离子体Ti~Te）；冷等离子体（非平衡态等离子体TiTe）。1.热等离子体及其应用A.等离子体焊接与切割B.喷涂和表面改性C.等离子体合成与分解D.等离子体冶金和中间包加热E.等离子体炬燃烧废物C.等离子体合成与分解合成粉、合成气、分解、化合E.等离子体炬燃烧废物工作温度可达5000OC以上，几乎所有的有毒气体和粉体在如此高温下都可以分解为无毒的物质，并达到排放标准；助燃燃煤锅炉，降低硫排放两倍以上；还可以应用来助燃煤火炬，提高焚烧城市垃圾的温度，降低排气污染。A.大气压放电等离子体大气压放电等离子体的应用电晕放电－空气净化、印刷制板、脱硫、脱硝、尾气处理、生物应用；介质阻挡放电－臭氧、消毒、种子处理;辉光放电－纺织、有机物表面处理；多项介质放电－水处理、化工应用刻蚀和制备薄膜。刻蚀-已经应用镀膜-正在开始a.等离子体光源和显示有极灯：荧光灯、纳灯、卤数灯，已广泛应用。无极灯：射频灯、微波灯；发热量小、电效率高、使用寿命长，可开发成系列产品。紫外光源：消毒灭菌；照射二氧化钛，进行有机污水处理；光聚合反应（印刷业）。等离子体显示电视机。b.等离子体表面处理金属表面氮化有机材料表面侵水性处理等离子体纺织印染整理设备D.等离子体离子源聚变研究中的中性束加热技术离子束技术在生物工程中的应用离子束辅助沉积薄膜技术离子束技术简介其他应用E.等离子体制备薄膜材料等离子体制备薄膜材料是冷等离子体应用最活跃的领域；已经形成产业或正在形成的产业项目包括两方面：等离子体制备薄膜方法和设备；薄膜材料研究和产业。研究等离子体的主要单位高温－等离子体所、西南物理研究院、清华工物系、物理所、科大低温－等离子体所、西南物理研究院、力学所、物理所、科大、清华、大连理工、电子科技大学、东南大学、七0一东华大学、北京印刷学院、苏大、复旦、华中科技大、武汉工程大学、华南师大、河北大学、西北师大、9院、21所、国防科大（二）真空镀膜方法和设备如上所述，等离子体在薄膜科技中有广泛应用，