YS∕T 1434-2021 六氯乙硅烷组分含量的测定气相色谱法.pdf

ICS77.040

α::SH17YS

中华人民共和国有色金属行业标准

YS/T1434-2021

六氯乙硅院组分含量的测定

气相色谱法

Dete口ninationofcomponentcontentofhexachlorodisilane一

Gaschromatography

2021-12-02发布2022-04-01实施

中华人民共和国工业和信息化部发布

YS/T1434-2021

前言

本文件按照GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定

起草．

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243）、全罔半导体设备和材料标准化技术委员

会材料分技术委员会（SAC/TC203/SC2）提出并归口。

本文件起草单位：洛阳中硅高科技有限公司、亚洲硅业〈青海〉股份有限公词、内蒙古通戚高纯晶硅有

限公司、新疆大全新能源股份有限公司、雅波拓〈福建〉新材料有限公司．

本文件主要起草人：万烨、严大洲、赵雄、楚东旭、刘凤华、徐家扬、曹俊英、田润朝、于生海、安军林、

侯海波、邓远红、付悖。

YS/T1434-2021

六氯乙硅炕组分含量的测定气相色谱法

警示一一使用本文件的人员应有正规实验童工作的实践经验。本文件并未指出所有可能的安全问

题。使用者有责任采取适当的安全和健康措施，并保证符合国家有关法规规定的条件。

1范围

本文件规定了六氯乙硅皖中三氯氢硅、四氯化硅、六氯乙硅烧及其他组分含量的气相色谱测定方法。

本文件适用于六氯乙硅皖中三氯氢硅、四氧化硅、六氯乙硅烧及其他组分含尬的测定，各组分的测定

范围（质量分数〉为不小于o.001%。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款．其中，注日期的引用文

件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本〈包括所有的修改单〉造用于本

文件。

GB/T3723工业用化学产品采样安全通则

GB/T6678化工产品采样总则

GB/T6680液体化工产品采样通则

GB/T9722化学试剂气相色谱法通则

3术语

本文件没有需要界定的术语和定义。

4原理

在规定的条件下将适量的六氯乙硅烧样品注入配有热导检测器（TCD）的气相色谱仪中，六氯乙硅烧

中各组分被色谱柱有效地分离，通过校正面积归一化法计算出各组分的含量．

5干扰因素

5.1六氯乙硅烧易与水分反应，影响测定结果，因此采样用取样瓶应清洁干燥，果样时尽量避免与空气

接触，来样结束后立即加盟密封．

5.2低纯度的六氯乙硅烧一般有颜色或悬浮物，应静置沉淀后，取上清液进行测定．

5.3样品转移、称量过程易受环境中空气影响，建议采用合适容量的进样器移取样品，密封称量．

5.4样品测定步骤中，样品注入仪器时尽可能缩短与空气接触的时间，测定环境湿度宜不大于60%.

6试剂

6.1三氯氢硅，质量分数不小于99.99%.

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6.2四氧化硅，质量分数不小于99.99%。

6.3六氯乙硅