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梯度飞片项目可行性研究方案
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梯度飞片项目可行性研究方案
目录
TOC\h\z24908前言 4
13615一、工艺方案的选择 4
1299(一)、基本要求 4
6577(二)、典型工艺技术介绍 5
23082(三)、梯度飞片项目组成 7
15408(四)、工艺技术方案的选择 8
4220(五)、工艺技术方案的设计 9
13939二、梯度飞片项目建设内容 11
26152(一)、建筑工程 11
5037(二)、电气、自动控制系统 13
12515(三)、通用及专用设备选择 14
5341(四)、公共工程
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