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用于制作晶硅异质结电池的制绒清洗方法及设备.pdfVIP

用于制作晶硅异质结电池的制绒清洗方法及设备.pdf

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    本发明涉及异质结电池加工清洗技术领域，尤其涉及一种用于制作晶硅异质结电池的制绒清洗方法及设备，包括：预清洗：对硅片表面油污及金属离子的清洗；制绒：使用碱液对硅片进行制绒；CP清洗：用含有臭氧的酸液对硅片的络合物和碱性药液进行清洗，并对硅片上的绒面进行微抛光；氢氟酸洗：用氢氟酸溶液对硅片表面的氧化层进行清洗，并增加硅片表面的疏水性。本发明通过简化制绒清洗步骤以降低生产成本。

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117790643A

    (43)申请公布日2024.03.29

    (21)申请号202311860610.4

    (22)申请日2023.12.31

    (71)申请人常州捷佳创精密机械有限公司

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